高頻功率放大器系列

ASCENT® SERIES 30、40 和 60 kW 型號

產(chǎn)生電弧的工藝制程，它可以提供穩(wěn)定功率，以獲得可重復的高質(zhì)量薄膜。嚴格的質(zhì)量控制過程確保可達到最高可靠性。Effective Arc Management System? 功能可以熄滅電弧，防止不必要的薄膜損壞或制程中斷。同時 Set Point Compensation? 技術(shù)可以平衡設定點與濺射率，即使在電弧非常頻繁的情況下也能做到這一點。Ascent 電源配備了多種用戶界面和虛擬前面板軟件，易于設置和操作。您可以選擇主/從裝置，或利用 Arc-Sync? 技術(shù)以多個相鄰的陰極調(diào)節(jié)電源。不管您的配置如何，均可使用 Ascent 電源獲得穩(wěn)定、可重復的電源。

我如何確定脈沖直流電源是否適合我的 FPD 制程？ Visit our FAQ page for detail

作為擁有36年以上歷史的直流電源產(chǎn)品領先企業(yè)，AE 為全球成千上萬的客戶提供服務，通過下列優(yōu)勢、解決客戶復雜的工藝問題，為客戶創(chuàng)造價值：

AE 的直流電源產(chǎn)品主要通過物理氣相沉積市場上主要使用的物理氣象沉積工藝——合金濺射以及與有反應氣體參與的反應濺射，AE電源廣泛應用于以下制造市場，包括：導體（銅、鋁、鉭、鈦以及更新的異類材料）,板顯示器（薄膜晶體管、彩色濾光片、有機 LED）,據(jù)存儲（光存儲、磁存儲以及磁光存儲相結(jié)合）,陽能光伏電池（透明導電氧化物和硅沉積）,筑玻璃,進產(chǎn)品應用（用于光學裝置、工具涂層、塑料等的薄膜）

可下載文獻

The Art of Choosing the Right Power Supply

Advanced Energy 的加速離子束源、電感耦合等離子源和大氣源技術(shù)為您的進階制程提供了成熟而現(xiàn)代化的設計。其成果是無縫整合、卓越的可靠性和進階功能性，推動、簡化您的制程工藝，使之更上一層樓。

遠端遠程等離子源 (RPS)
前極管道 PFC 治理
Xstream®遠程等離子源

離子源技術(shù)

等離子源

L前極管道 PFC 治理

Xstream® 遠程等離子源

溫度測量儀器

Sekidenko OR4000T and OR4000E

Sekidenko OR400T